Зведений каталог бібліотек Харкова
Кислов, Н. М. К модели выхода вторичных электронов из металлов и полупроводников при ионной обработке повенрхности. [Текст] / Московский государственный институ стали и сплавов (технологический университет) // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2004. — С. 63-67.
- Анотація:
Рассмотрены модельные представления по выходу вторичных электронов из металлов и полупроводников в зависимости от их физических характеристик и параметров технологического процесса ионно-лучевого травления материалов ионами инертных газов.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2004.
- Теми документа
