Зведений каталог бібліотек Харкова
Бабенко, В. А.Кочмарев Сверхвысокочастотный разряд волноводного плазмотрона для осаждения высокоапертурных структур на основе кварцевого стекла. [Текст] / В.А.Кочмарев Бабенко, И.П. Шилов // . — С. 100-107.
- Анотація:
Исследованы особенности формирования высокоапертурных диэлектрических структур на основе кварцевого стекла в волноводном сверхвысокочастотном (СВЧ) плазмотроне на волне Н10.
- Є складовою частиною документа:
Радиотехника и электроника [Текст] // Радиотехника и электроника ; Институт радиотехники и электроники РАН - М. : Наука. — 2005.
- Теми документа
