Зведений каталог бібліотек Харкова
Бородуля, В. А. Теоретический анализ и моделирование получения поликристаллического кремния в реакторе кипящего слоя. [Текст] / Институ тепло- и массообмена им. А.В.Лыкова НАН Беларуси, г.Минск // . — С. 48-53.
- Анотація:
Выполнен теоретический анализ и рассмотрены основные проблемы технологии получения полукристаллического кремния пиролитическим разложением моносилана в реакторе кипящего слоя.
- Є складовою частиною документа:
Инженерно-физический журнал [Текст] // Инженерно-физический журнал ; Институт тепло- и массообмена им. А.В.Лыкова - Минск : НАН Беларуси. — 2005.
- Теми документа
