|
Автор: Степовик А.П., Мокичев Г.В., Магда Э.П., Кирюшин С.В., Козиков А.Н., Семков А.Л., Курочкин А.В., Лукин А.В., Хмельницкий Д.В., Попов В.П.
-
Анотація:
Описано использование модернизированного ускорителя генератора нейтронов НГ-12И для имплантации ионов водорода с энергией 175-210 МэВ в пластины из кристаллического кремния. При использованной системе сканирования пучка ионов неравномерность облучения пластин диаметром 100 мм не превышала 10%, что позволило изготавливать пластины кремний-на-изоляторе путем водородного скалывания.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Елементарні та найпростіші частинки ( заряд, менший ніж З ) альфа-промені, вета-промені, гамма-промені як окремі частинки чи випромінювання
|
