Рассмотрены методы получения пористного карбида кремния, его свойства, влияния состава электролита, времени травления и плотности тока на морфологию пористого слоя, а также зависимость структуры пор от легирования подложки. Результаты сопоставленны с данными по пористому кремнию.
