Рассмотрены особенности и тенденции развития парка средств измерений вакуумного и ближнего ультрафиолетового излучения, метрологические характеристики рабочих СИ, основанных на использовании фотоэлектронных приемников непрерывного и импульсного излучений с внешним и внутренним фотоэффектом, а также тепловых приемников.