Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Скворцов, А. М.
    Формирование нанокластеров кремния в структуре кремний/диоксид кремния [Текст] / А.М. Скворцов, В.В. Плотников, В.И. Соколов // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. / МО РФ, СПб ГУИТМО. — С. 62-67.

- Анотація:

Приведен краткий обзор методов формирования нанокластеров кремния в структуре кремний/диоксид кремния.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // ЕЛЕКТРИКА. ЕЛЕКТРОТЕХНІКА
  • УДК // Електронні напівпровідники
  • УДК // Провідники та напівпровідники залежно від матеріалу виготовлення



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт