Зведений каталог бібліотек Харкова
Королев, А. Н. Измерение высоты ступени в нанометровом диапазоне с помощью лазерного микроинтерферометра [Текст] / А.Н. Королев, В.И. Коротков, А.Я. Лукин та ін. // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 29-33.
Автор: Королев А.Н., Коротков В.И., Лукин А.Я., Пулькин С.А., Сизов А.Л.
- Анотація:
Предложена оптическая схема микроинтерферометра с нанометровым разрешением и оценены составляющие погрешности. Подробно описана компьютерная программа и алгоритм обработки интерференционной картины, регистрируемой ПЭС-камерой.
- Є складовою частиною документа:
Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.
- Теми документа
