Исследованы эмисионные характеристики тонкопленочных катодов, изготовленных термическим вакуумным испарением кремния. Показано, что высокотемпературный отжиг таких пленок в инертной атмосфере с последующим травлением структур в HF значительно улучшает эмиссионные свойства: токи эмиссии возрастают, а пороговое напряжение снижается.

Радиофизика и электроника [Текст] : сб. науч. тр. / НАН Украины, Ин-т радиофизики и электроники им. А. Я. Усикова ; редкол. : Яковенко В. М. (гл. ред.) и др. — Харьков : ИРЭ НАН Украины, 2005. — 490 с.

• УДК // Аморфність Аморфний стан. Склоподібний стан. Теорія, властивості склоподібного стану