Показано, что метод напыления при высоком давлении кислорода позволяет получать эпитаксиальные гетероструктуры высокого качества с рекордными транспортными характеристиками. Продемонстрирована возможность формирования рисунка в нижних слоях с помощью безводного химического травления.

Радиотехника и электроника [Текст] // Радиотехника и электроника ; Институт радиотехники и электроники РАН - М. : Наука. — 2005.

• УДК // Електричні вимірювання ( методи та прилади)
• УДК // Надпровідність
• УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація