Зведений каталог бібліотек Харкова
Панфилов, Ю. В. Нанесение тонких пленок в ваккуме на подложки из синтетического опала [Текст] / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 49-52.
- Анотація:
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов. Приведены схемы процессов формирования тонких пленок на опаловых матрицах и конструкции технологической оснастки.
- Є складовою частиною документа:
Технология и конструирование в электронной аппаратуре [Текст] : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — Одесса.
- Теми документа
