Осуществлен метод лазерной гравировки, основанный на эффективном изменении кристаллической решетки при формировании текстурированной поверхности кристалла кремния. Показано, что для прожигания кремния на переходе фаз необходим лазер с импульсной мощностью намного меньше, чем в твердой фазе.
