| | Бончик, А. Ю. Влияние режимов ионного легирования и фотонного отжтга на параметры имплантированных слоев n-GaAs:Si [Текст] / А.Ю. Бончик, И.И. Ижнин, С.Г. Кияк, Г.В. Савицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 3-4. |
| | |
|