Рассмотрены особенности гетероэпитаксиальных структур "кремний на сапфире", позволяющие использовать их в качестве тензочувствительных элементов преобразователей механических величин.

Радиотехника и электроника [Текст] // Радиотехника и электроника ; Институт радиотехники и электроники РАН - М. : Наука. — 2005.

• УДК // Вимірювання сили, роботи, тиску
• УДК // Основні принципи та теорія вимірю-вання i розробки вимірювальних приладів. Методи вимірювання