Зведений каталог бібліотек Харкова
Пилипенко, В. А. Модель лазерного геттерирования быстродиффундирующих примесей. [Текст] / Унитарное предприятие "Белмикросистемы" НПО "Интеграл", Республика Беларусь // Инженерно-физический журнал. — 2005. — С. 190-192.
- Анотація:
Предложена модель геттерирования бустродиффундирующих примесей в кремниевых пластинах, позволяющая определить эффективные режимы его проведения. обеспечивающие получение высококачественных кремниевых пластин с воспроизводимыми характеристиками.
- Є складовою частиною документа:
Инженерно-физический журнал [Текст] // Инженерно-физический журнал ; Институт тепло- и массообмена им. А.В.Лыкова - Минск : НАН Беларуси. — 2005.
- Теми документа
