Проведена расчетная оценка различных составляющих глубины приповерхностных повреждений в GaP. Осуществлена характеризация приповерхностных повреждений, возникающих в пластинах GaP(100) и GaP(111) после многопроволочной резки свободным абразивом, рентгеновскими методами и усовершенствованным методом косого шлифа.