|
Автор: Лісовський І.П., Литовченко В.Г., Індутний І.З., Мазунов Д.О., Шепелявий П.Є.
-
Анотація:
Досліджено тонкі плівки SiOx, отримані термічним вакуумним випаровуванням монооксиду кремнію. Використовуючи ІЧ-спектроскопію з аналізом форми смуги поглинання на зв'язках Si - O,було досліджено термостимульовану структурну трансформацію фази Si - O у шарах SiOx.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Аморфність Аморфний стан. Склоподібний стан. Теорія, властивості склоподібного стану
| 