Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

621.38
К43Киреев, В. Ю.
    Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Текст] / В.Ю. Киреев, Б.С. Данилин, В.И. Кузнецов. — М. : Радио и связь, 1983. — 128 с.

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
  • УДК // Хімічна завершальна обробка та обробка поверхні



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського 9 Перейти на сайт
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського 1 Перейти на сайт