Опис документа

Фоминский, В. Ю.
Исследование технологических особенностей и моделирование новой методики ионной имплантации из импульсной лазерной плазмы. [Текст] / В.Ю. Фоминский, А.Г. Гнедовец, А.В. Хороманская, А.Л. Смирнов // Справочник. Инженерный журнал. — 2005. — С. 22-28.

- Анотація:

Исследованы особенности ионно - имплантационной обработки материалов, реализуемой по новой методике путем импульсного ускорения ионов из эрозионной лазерной плазмы. Представлена компьютерная модель, позволяющая прогнозировать и оптимизировать потоки ионов на обрабатываемую подложку.

- Є складовою частиною документа:

Справочник. Инженерный журнал. [Текст] // Справочник. Инженерный журнал ; Выходит при содействии Международного Союза машиностроителей. - М. : Машиностроение. — 2005.

- Теми документа

УДК // Фізика плазми

Наявність

Установа Кількість Документ на сайті установи

Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського Перейти на сайт