Зведений каталог бібліотек Харкова
621.38Б69Блинов, И. Г. Оборудование полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие для вузов / И.Г. Блинов, Л.В. Кожитов. — М. : Машиностроение, 1986. — 264 с.
- Теми документа