Рассмотрены результаты создания оптического прибора для измерения влажности газов, принцип действия которого основан на поглощении вакуумного ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 110-190 нм. Сконструирован и изготовлен гигрометр ТКА-МК , позволяющий измерять температуру точки росы, абсолютную и относительную влажность. Прибор прошел испытания для целей утверждения типа и занесен в Государственный реестр средств измерений, допущенных в обращение на территории РФ.