|
Автор: Братусь В.Я., Валах М.Я., Гулє Є.Г., Окулов С.М., Юхимчук В.О.
-
Анотація:
Методами електронного парамагнітного резонансу (ЕПР) та фотолюмінісценції (ФЛ) досліджено вирощені термічним окисленням кремнієвих пластин плівки SiO2 з рівномірним та близьким до гауссового профілями розподілу імплантованих атомів Ge. ...
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Ніздрювата структура. Плівки, Тонкі плівки. Променеві структури
-
УДК // Розповсюдження світлових променів. Відбиття. Заломлення. Поглинання. Випромінювання
-
УДК // Явища та властивості (крім процесів переносу)
| 