Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Белянин, А. Ф.
    Получение наноструктурированых пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике [Текст] / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 46-54.


- Анотація:

Рассмотрены конструктивные особенности распылительной системы установки магнетронного распыления и условия формирования пленок AlN и ZnO с конролируемым содержанием и строением кристаллической фазы.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Кристалографія



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт