| | Белянин, А. Ф. Получение наноструктурированых пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике [Текст] / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 46-54. |
| | |
|