Показана возможность более точного определения составляющих вектора кристаллографической разориентации подложки. Анализ ориентационных соотношений и разориентации в сложных гетероэпитаксиальных системах в комплексе с оценкой структурного совершенства позволяет реализовать более глубокую диагностику гетероэпитаксильных слоев.
