Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Рогов, Р. В.
    Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок [Текст] / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 52-54.

- Анотація:

Предложена модель технологической сети и создано программное обеспечение (ПО) для контроля параметров и управления режимами технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Автоматизоване виробництво
  • УДК // Зародження, ріст та розчинення кристалів



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт