Рассмотрены роль приборно-технологического моделирования и основные направления его использования при разработке изделий микроэлектроники и микросистемной техники. Приведены примеры исследований, проводимых в Учебно-научном центре приборно-технологического моделирования МИЭТ с помощью пакета программ ISE TCAD в области силовой электроники, субмикронных транзисторных структур и элементов оптоэлектронной техники.