Показано, что методами зондовой нанотехнологии можно создавать элементы наноэлектроники на основе наноразмерных пленок углерода, в частности с применением углеродных нанотрубок. Доказана возможность создания активных планарных элементов, расположенных в одном слое толщиной не более 10нм.