Рассмотрена технология изготовления самоорганизующейся упорядоченной маски на основе пористого анодного оксида алюминия для травления нанопор в кремнии. Приведены результаты эксперементов по получению наноразмерных структур в кремнии при формировании многоэлементных множеств.

Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2005.

• УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
• УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
• УДК // Практичний аспект, реалізація, виконання, виробництво в техніці/Практический аспект, реализация, исполнение, производство в технике/Practical aspect, realization, execution, production in equipment