Показано, что использование микромеханических кремниевых проводящих зондах покрытий на основе тугоплавких соединений титана и вольфрама приводят к качественному улучшению их надежностных характеристик. Представлены результаты разработки магнитных микромеханических зондов, обладающей повышынной коррозионной стойкостью и способностью эффективно функционировать в большинстве методов сканирующей зондовой микроскопии.
