Рассмотрены вопросы разработки и изготовления чувствительных элементов микроакселерометров и микрогироскопов, которые являются одними из наиболее востребованных чувствительных элементов МЭМС и позволяют создать базовые технологические прцессы. Показано, что возможно создание унифицированных рядов разичных микромеханических приборов.
