Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Герасименко, Н. Н.
    Аномальное дефектообразование в монокристаллическом кремнии при имплантации ионов фтора. [Текст] / Н.Н. Герасименко, А.А. Жуков, Н.Н.мл Герасименко та ін. // Известия вузов. Электроника. — 2005. — С. 185-187.


Автор: Герасименко Н.Н., Жуков А.А., Герасименко Н.Н.мл, Тарасенков А.Н., Ловягин И.В.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
  • УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
  • УДК // Практичний аспект, реалізація, виконання, виробництво в техніці/Практический аспект, реализация, исполнение, производство в технике/Practical aspect, realization, execution, production in equipment



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт