Описаны технологические особенности осаждения пленок металлсодержащих алмазоподобных нанокомпозитов с кремний-углеродной матрицей. Методом РФЭС изучена структура химических связей в матрице и частицах нанофазы для образцов с Pt, Pd или Cr. Исследована температурная зависимость электропроводности образцов, содержащих W, обнаружено влияние концентрации W на характер температурных кривых. Выявлена анизотропия электропроводности в плоскости для W-содержащих нанокомпозитов.
