Впервые при помощи ионной имплантации германия в кремний получены упорядоченные нанокомпозиции. Исследованы форма, пространственное распределение и состав нанокомпозиций. Показаны их квантовые свойства. Предложен механизм образования SiGe-нанокомпозиций при имплантации германия в кремний.
