Представлены разработки основ технологии получения автоэпитаксиальных слоев кремния на подложках цилиндрической формы, включая конструирование оборудования, выбор параметров процесса, оценку качества получаемых слоев. Такие слои могут быть в дальнейшем применены при изготовлении диодов Шотки непланарной конфигурации. Широко использовано математическое моделирование термоденамики и кинетики процессов.

Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2005.

• УДК // Електронні напівпровідники
• УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація