Рассмотрены закономерности изменения морфологии и фазового соства пленок с неупорядоченной структурой на основе кремния и карбида кремния при низкоэнергетическом воздействии ионов в процессе плазмохимического разложения моносилана и ионного распыления.

Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2005.

• УДК // Електронні напівпровідники
• УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація