Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Андреев, А. В.
    Направления совершенствования методов контроля плотности окислительных дефектов упаковки на основе их статистического анализа. [Текст] / Московский государственный институт электронной техники. // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2005. — С. 65-71.


- Анотація:

Исследована операция определения плотности окислительных дефектов упаковки на пластинах монокристаллического кремния диаметром 150мм.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні напівпровідники
  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт