Зведений каталог бібліотек Харкова
Щербачев, К. Д. Анализ реальной структури ионоимплантированых слоев по карте обратного пространства. [Текст] / Московский государственный институт стали и сплавов. // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2005. — С. 72-76.
- Анотація:
Предложен подход к анализу карт обратного пространства, измеренных на ионоимплантированых образцах, прошедших термообработку. Описана процедура разделения вкладов когерентной и некогерентной составляющих рассеяние.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2005.
- Теми документа
