Зведений каталог бібліотек Харкова
Соловей, В. В. Диагностика субмикронных припроверхностных повреждений в пластинах кремния после двухстороннего химико-механического полирования. [Текст] / ОАО "ЭЛМА", г.Москва. // Известия вузов. Электроника. — 2005. — С. 32-35.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2005.
- Теми документа
