Зведений каталог бібліотек Харкова
Бархоткин, В. А. Алгоритм управления температурным режимом в быстрых термических процессах. [Текст] / Московский государственный институт электронной техники. // Известия вузов. Электроника. — 2005. — С. 46-51.
- Анотація:
Представлен алгоритм минимизации температурного градиента подложки в реакторе для быстрых термических процессов за счет регулирования газодинамических условий.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2005.
- Теми документа
