Автор: Неймаш В.Б., Войтович В.В., Красько М.М., Крайчинський А.М., Кабалдін О.М., Павловський Ю.В., Цмоць В.М.
-
Анотація:
Досліджено процеси утворення та відпалу радіаційних дефектів (РД) у n-Si з домішками свинцю і вуглецю. ВстановленоЮ що під час опромінення зразків електронами з енергією 1 МеВ ефективність введення основних РД - комплексів вакансія - кисень (VO) - у зразках ыз свинцем на 30% менша, ныж у контрольних. Показано також, що свинець переводить значну частину атомыв вуглецю в оптично неактивний стан, тим самим виключаючи ъх ыз процесу утворення вуглецевих РД СiСi. Встановлено, що при загальній концентрації 10 в 18 см-3, яку визначено за допомогою вторинної іонної масспектрометрії, концентрація дисперсних атомів свинцю в даних кристалах не перевищує 10 в 17 см-3.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
|