Показано, що імплантація плівок оксиду цинку акцепторними домішками миш'яку і азоту з наступним відпалом в атмосфері атомарного кисню приводить до зміни спектрів фотолюмінісценції (ФЛ). В спектрах ФЛ спостерігаються смуги з максимумами 3,33 і 3,29 еВ, зумовлені імплантацією миш'яку і азоту відповідно.
