Опис документа

Рашкован, В. М.
Получение тонких пленок оксида циркония катодным распылением в реактивной среде [Текст] / В.М. Рашкован, С.С. Иващенко, А.В. Кваша та ін. // Авиационно-космическая техника и технология : сб. науч. тр. / М-во образования Украины, Гос. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т". — Х. : Гос. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т", 1998. — С. 110-113.

Автор: Рашкован В.М., Иващенко С.С., Кваша А.В., Ляхно В.Ю., Фалко Ч., Новосад В.А.

- Анотація:

Исследованы процесы формирования тонких пленок на кремнеевых и ситаловых подложках методом распыления циркониевых электродов в реактивной кислородсодержащей средерабочего газа.

- Є складовою частиною документа:

Авиационно-космическая техника и технология [Текст] : сб. науч. тр. / М-во образования Украины, Гос. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т". — Х. : Гос. аэрокосм. ун-т им. Н. Е. Жуковского "Харьк. авиац. ин-т", 1998. — 202 с.

- Теми документа

УДК // Ніздрювата структура. Плівки, Тонкі плівки. Променеві структури
Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ
Праці співробітників ХАІ // Рашкован В.М./Rashkovan V.

Наявність

Установа Кількість Документ на сайті установи

Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського Перейти на сайт