| | Григорьянц, В. В. СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов [Текст] / В.В. Григорьянц, А.П. Долгов, Л.Ю. Кочмарев, И.П. Шилов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 39-42. |
| | |
|