Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Борисенко, А. Г.
    Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия [Текст] / А.Г. Борисенко, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Н.С. Болтовец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 42-46.

- Анотація:

Представлены результаты плазмохимического травления эпитаксиальных структур нитрида галлия на сапфировой подложке. Травление проводилось в плазмохимическом реакторе с замкнутым дрейфом электронов.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
  • УДК // Фізика плазми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт