В роботі вперше була використана трикристальна рентгенівська дифрактометрія для вивчення деформаційного старіння спеціально введених в зразки вирощеного за Чохральським кремнію паралельних дислокацій. Наведено експериментальні результати, що свідчать про зміну інтенсивності розсіяння рентгенівських променів при старінні. Визначено величини статичного фактора Дебая - Валлера, розміри і концентрацію розсіюючих рентгенівське випромінювання коагулянтів і зміни цих характреистик у процесі старіння кристалів. Побудовано відповідні контури однакової інтенсивності поблизу вузла. (111) оберненої гратки. Зроблено висновок про стимулювання дислокаціями процесів розпаду твердого розчину кисню в кремнії.
