Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Любченко, В. Е.
    Методика измерения параметров тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокоомного полупроводника с помощью миллиметровых волн [Текст] / В.Е. Любченко, В.В. Мериакри, Е.Е. Чигряй // Электромагнитные волны и электронные системы. — 2006. — С. 63-65.


- Анотація:

Описана новая методика неразрушающего измерения комплексного коэффициента преломления тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокоомных полупроводников с помощью миллиметровых волн.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Апаратура та методи радіозв' язку
  • УДК // Провідники та напівпровідники залежно від матеріалу виготовлення



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт