Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Белоусов, И. В.
    Газочувствительные структуры "силицид кобальта-пористый кремний-кремний" [Текст] / И.В. Белоусов, Е.В. Бузанева, Г.В. Кузнецов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре  : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 34-36.


- Анотація:

Изучены явления локального зарождения и последующей латеральной кристаллизации силицидной фазы CoSi2 на поверхности пористого кремния.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Напівпровідникові діоди



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт