Зведений каталог бібліотек Харкова
Семенова, С. Э. Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок [Текст] / С.Э. Семенова, Э.И. Семенов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — С. 43-45.
- Анотація:
Предложена методика фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок, суть которой состоит в применении методов двойного дифференцирования и временных интервалов к сигналу фотометрического измерителя.
- Є складовою частиною документа:
Технология и конструирование в электронной аппаратуре [Текст] : научно-технич. журнал / АО "Нептун". — Одесса.
- Теми документа
