Рассматривается возможность низкотемпературной модификации свойств тонких пленок меди под воздействием атомарного водорода. Представлены результаты экспериментального исследования изменения адгезионных и когезионных свойств медных пленок в составе гетероструктуры "медь-кремний" от времени обработки атомарным водородом.
