Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Скворцов, А. М.
    Микроструктурирование поверхности монокристалов кремния в электронной технике [Текст] / А.М. Скворцов, Ю.А. Жарова, В.Л. Ткалич // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. / МО РФ, СПб ГУИТМО. — С. 60-65.

- Анотація:

Рассмотрены основные методы микроструктурирования поверхности монокристаллов кремния: химический, электрохимический и лазерный.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
  • УДК // Практичний аспект, реалізація, виконання, виробництво в техніці/Практический аспект, реализация, исполнение, производство в технике/Practical aspect, realization, execution, production in equipment



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт